新型3D测量显微镜:
产品介绍:东莞市欧准特仪器有限公司
3D测量显微镜,是同时具有高精度线性测量和观察功能的多功能检测仪器,广泛用于LED照明,半导体,显示屏,微电子器件等产品进行详细检测,主体机构通过搭配不同的镜筒、照明装置、升降机构、物镜及对焦机构的选择,组成多款不同系列的机型,完全按测量要求订购设备。东莞市欧准特仪器有限公司
模块化设计,两款经典机身供选择随心所欲加装不同镜
头组及照明系统;
拥有优越的光学性能和超高测量精度,搭配主体的操作平衡性,让之前不可见的几乎不可见的物件可观察,可测量:
次微米精度,出色的多功能性,更适合高性能零件,电子组件的三维测量;
可轻易测量易碎工件仪具有极小细节的工件;
视场广阔,可得清晰正像,可选配多种CCD摄像机输出图像检测;
照明装置(反射,投射),可选用高亮度LED的照明或卤素照明;
快速释放装置便于测量大工件或多个数量工件时快速移动工作台,Z轴两侧均同轴粗/微调手轮,确保能以Zui快速度实现高精度对焦。
技术参数:东莞市欧准特仪器有限公司
产品型号 | 0ZT-1510T | OZT-2010T | 0ZT-300/400/500非标定制 |
测量范围mm | 150*100 | 200*100 | 按要求定制 各种测量范围的机型 Z轴电动或Z轴测量 CNC大行程机型定制等 |
玻璃台面尺寸mm | 160*60 | 260*160 | |
工作台面尺寸mm | 260*160 | 360*260 | |
外形尺寸L*H*Wmm | 480*750*720 | 580*750*720 | |
机器重量KG | 30 | 70 | |
镜筒/图像 | 可选择单目或双目镜筒,带有标准的TV摄像机端口,图像:正像/反像 | ||
测量方法 | 明场、暗场、偏光或微分干涉对比观测;辅助对焦系统: | ||
目镜 | 10X(视场直径:25mm或22mm),可选十字分板割 | ||
物镜 | 95mm:2x.5x.10x.20x.50x(100选配)或60mm:5x,10x,20x,50x,100x | ||
明视场 | 所有Plan FLUOR EPI/Plan FLUOR EPI SL系列镜头 | ||
暗视场 | 所有Plan FLUOR EPI-BD系列镜头 | ||
调焦系统 | 粗微调同轴,左右手柄(粗调:40mm/圈、微调:0.02mm/圈) | ||
照明装置 | 投射:白色LED照明,无极亮度可调;反射:内置孔径光阑、无极亮度可调、5W LED光源 | ||
数字计数器 | 0.001mm/0.0005/0.0001mm(可选配) | ||
测量精度(μm) | X-Y≤(2.5+0.02L)μm L为被测长度(单位:mm) |