东莞市长安欧准特精密机械经营部
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惠州光学3D显微镜 3D测量显微镜 3D高倍率显微镜

新型3D测量显微镜:

 

产品介绍:东莞市欧准特仪器有限公司

  3D测量显微镜,是同时具有高精度线性测量和观察功能的多功能检测仪器,广泛用于LED照明,半导体,显示屏,微电子器件等产品进行详细检测,主体机构通过搭配不同的镜筒、照明装置、升降机构、物镜及对焦机构的选择,组成多款不同系列的机型,完全按测量要求订购设备。东莞市欧准特仪器有限公司

   模块化设计,两款经典机身供选择随心所欲加装不同镜

头组及照明系统;

拥有优越的光学性能和超高测量精度,搭配主体的操作平衡性,让之前不可见的几乎不可见的物件可观察,可测量:

次微米精度,出色的多功能性,更适合高性能零件,电子组件的三维测量;

可轻易测量易碎工件仪具有极小细节的工件;

视场广阔,可得清晰正像,可选配多种CCD摄像机输出图像检测;

照明装置(反射,投射),可选用高亮度LED的照明或卤素照明;

快速释放装置便于测量大工件或多个数量工件时快速移动工作台,Z轴两侧均同轴粗/微调手轮,确保能以Zui快速度实现高精度对焦。

技术参数:东莞市欧准特仪器有限公司



产品型号

0ZT-1510T

OZT-2010T

0ZT-300/400/500非标定制

测量范围mm

150*100

200*100

按要求定制

各种测量范围的机型

Z轴电动或Z轴测量

CNC大行程机型定制等

玻璃台面尺寸mm

160*60

260*160

工作台面尺寸mm

260*160

360*260

外形尺寸L*H*Wmm

480*750*720

580*750*720

机器重量KG

30

70

镜筒/图像

可选择单目或双目镜筒,带有标准的TV摄像机端口,图像:正像/反像

测量方法

明场、暗场、偏光或微分干涉对比观测;辅助对焦系统:

目镜

10X(视场直径:25mm或22mm),可选十字分板割

物镜

95mm:2x.5x.10x.20x.50x(100选配)或60mm:5x,10x,20x,50x,100x

明视场

所有Plan FLUOR EPI/Plan FLUOR EPI SL系列镜头

暗视场

所有Plan FLUOR EPI-BD系列镜头

调焦系统

粗微调同轴,左右手柄(粗调:40mm/圈、微调:0.02mm/圈)

照明装置

投射:白色LED照明,无极亮度可调;反射:内置孔径光阑、无极亮度可调、5W LED光源

数字计数器

0.001mm/0.0005/0.0001mm(可选配)

测量精度(μm)

X-Y≤(2.5+0.02L)μm  L为被测长度(单位:mm)



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